历时数月宣布,在圣诞节前三天完成:英特尔已收到 ASML 的首个高数值孔径 EUV 系统。 现在,可以在英特尔工厂学习设备功能并开始调整,为下一代该设备在大约三年内的批量生产打下基础。

英特尔:High-NA-EUV 的第一个客户
随着 ASML 第一台新机器的交付,英特尔也结束了因第一代 EUV 错误决定而开始的致命循环。
十年前,英特尔高高在上地宣称,希望在更长的一段时间内继续采用经典光刻技术而不是 EUV 来实施新工艺,但众所周知,后来却因骄傲而倒下了。结果,台积电不仅超越了英特尔,还实现了世界遥遥领先。
芯片制造:昨天、今天和明天的创新
有了 High-NA(高数值孔径),英特尔不想再犯这样的错误,他们现在是第一个客户。
在新系统中,高数值孔径是指改进的光学器件,可以在相同波长下实现更小的结构。这意味着对更小结构尺寸的持续需求可以在几年内得到满足,而无需诉诸复杂的技术,例如多重图案化。经典 EUV 在不久的将来即将走上这条相同的道路,但这有时可能是值得的,特别是在开始时,因为高数值孔径不可用和/或极其昂贵。
当然,所有其他 ASML 合同制造商也将收到他们的第一个系统,可能明年每年都会收到一个。根据最近的传言,前 10 份中有 6 份将交给英特尔,这意味着英特尔可以从 2025 年初开始建立整条生产线。
“接收首个高数值孔径 EUV 系统是加速半导体制造的关键一步。感谢@ASMLcompany 与我们一起继续这段旅程。
— 英特尔 (@intel) 2023 年 12 月 21 日”
与经典的 EUV 光刻一样,这将是一个漫长的学习过程,需要数年时间。EUV 早已成为常规、排放量高、误差小,但实现这一目标的道路并不顺利。
您可以使用高数值孔径变体重新输入此路径。众所周知,仅从该系统开始,初始成本就会高得多:它的成本可能高达 4 亿欧元/美元,是以前系统的两倍多。然后工作才刚刚开始。第二代预计在 2026 年及以后投入生产使用;第一代不太可能足以满足这一要求。
2026 年英特尔 18A 与台积电 N2 对比?
2026 年可能是制造业历史上激动人心的一年。英特尔正在推出其栅极全能工艺 Intel 18A,台积电有 N2。英特尔首席执行官帕特·基辛格(Pat Gelsinger)昨天解释说,台积电的晶体管继续在自己的联盟中发挥作用,但英特尔希望通过背面供电的方式来应对这一点。从时间上看,英特尔可能会在几十年来首次再次领先。
国内企业还需更加努力
如果说开创工业时代的驱动力是蒸汽机,开创电气时代的驱动力是电力,那么开创信息时代的驱动力就是集成电路。“芯片强则产业强,芯片兴则经济兴,没有芯片就没有安全。
在信息时代,集成电路是核心基石,电脑、手机、家电、汽车、高铁、电网、医疗仪器、机器人、工业控制等各种电子产品和系统都离不开集成电路。没有集成电路产业支撑,信息社会就失去了“根基”,集成电路因此被喻为现代工业的“粮食”。


